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145.********万元(人民币)
采购品目：
A********其他仪器仪表
采购需求概况：
本项目拟采购的无掩模光刻曝光机一套；采用聚焦光斑直写式工作模式，其无需物理掩膜版，实验灵活高效。通过软件编辑光刻图案，控制激光开关与线性马达运动，直接对光刻胶的指定位置进行曝光，从而达到光刻的目的。在不需要掩膜板的情况下实现对光刻胶的曝光成型，从而以更灵活的方式实现微纳结构或器...

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